マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ

ファイバーレーザーをベースに 266nm と 782nm に波長変換したビームをミックスし、ファイバーベースで世界最短の実用短波超光源(波長 199nm)が実現しました。

マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ-1

マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ-1

マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ-1

マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ-1

主な特徴

  • 低消費電力(約800W)によりランニングコストが大幅に抑えられる
  • 十分なスループットが取れる運転出力100mW
  • 検査装置の色収差を抑制できる狭いスペクトル幅
  • 高いビーム品質
  • 高効率かつ安定した固体非線形結晶による短波長への波長変換

検査装置への応用

  • 紫外用光学素子を長寿命化したことにより、1年間メンテナンスフリー可能(自動出力復活機能あり)
  • 24時間稼働可能、自動調整は1~2週に1回1時間程度
  • 実績4%以下の短いダウンタイム
  • 低いオペレーションコスト

備考

注1 波長は変更可能です。シードレーザーの波長に依存します。
注2 繰り返し周波数は変更可能です.
注3 パルス幅は調整可能です。
注4 ビームサイズは調整可能です。
注5 偏光の向きは垂直、水平いずれも可能です。
注6 半導体工場での使用を前提にしているため、レーザーヘッド内に電源等が入っており、多少大きくなっています。電源を別にすると、レーザーヘッドを半分以下にすることは可能です。