HOME
>
ニュース・トピックス
>
Whats New
> 詳細
2009/05/18
日刊工業新聞9面に記事が掲載されました
2009年5月18日(月曜日)付にて日刊工業新聞 9面 電機・電子部品紙面に
「パルスで199ナノメートル波長 半導体マスク検査機用 レーザー光源開発」
として掲載されました。
弊社の開発した世界で初めての実用短波長光源についての記事が掲載されています。
PDFをご覧いただくにはアドビリーダーが必要です。
お持ちでない方はダウンロードをお願い致します。