マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ

マスク検査装置用深紫外レーザー ”CYGNUS” シリーズ

出力安定性(出力制御なし)
出力安定性(出力制御なし)

ビームプロファイル
ビームプロファイル

198.5nm発生スキーム
198.5nm発生スキーム

ファイバーレーザーをベースに 266nm と 782nm に波長変換したビームをミックスし、
ファイバーベースで世界最短の実用短波超光源(波長 199nm)が実現しました。

主な特徴

  • 低消費電力(約800W)によりランニングコストが大幅に抑えられる
  • 十分なスループットが取れる運転出力100mW
  • 検査装置の色収差を抑制できる狭いスペクトル幅
  • 高いビーム品質
  • 高効率かつ安定した固体非線形結晶による短波長への波長変換

    検査装置への応用

  • 紫外用光学素子を長寿命化したことにより、1年間メンテナンスフリー可能(自動出力復活機能あり)
  • 24時間稼働可能、自動調整は1~2週に1回1時間程度
  • 実績4%以下の短いダウンタイム
  • 低いオペレーションコスト

仕様

項目 仕様値
波長(注1) 198.5nm
スペクトル幅 5pm以下 (半値全幅)
パルス繰り返し周波数(注2) 1MHz以上
出力 最大300mW 運転出力100mW
パルス幅(注3) 1ns
ビームサイズ(注4) 約3.0mm(直径)
出射端から3mにおいて
ビーム品質 M2 < 1.6
偏光(注5) 直線偏光
レーザーサイズ(注6) 700(W)mm x 2100(L) mm x 1600(H)mm

注意

  • 注1 波長は変更可能です。シードレーザーの波長に依存します。
  • 注2 繰り返し周波数は変更可能です.
  • 注3 パルス幅は調整可能です。
  • 注4 ビームサイズは調整可能です。
  • 注5 偏光の向きは垂直、水平いずれも可能です。
  • 注6 半導体工場での使用を前提にしているため、レーザーヘッド内に電源等が入っており、多少大きくなっています。電源を別にすると、レーザーヘッドを半分以下にすることは可能です。